廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫分子泵Turbo-V1001r維修
TwisTorr 404 FS 渦輪分子泵特性可對(duì)輕質(zhì)氣體實(shí)現(xiàn)高壓縮比，同時(shí)支持高氣體流速，從而能夠通過 DN100 法蘭以 400 L/s 的抽速在極低的極限壓力下運(yùn)行，同時(shí)可用于高通量應(yīng)用無烴運(yùn)行，可確保真空系統(tǒng)潔凈遠(yuǎn)程控制器可在距離 100 m 處進(jìn)行操作。低振動(dòng)和低噪音 (43 dB(A))，打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下運(yùn)行體積小巧，可安裝在任何位置，有利于輕松集成免維護(hù)軸承，零運(yùn)行成本通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制，以便隨時(shí)隨地進(jìn)行泵的操作防輻射和防磁場(chǎng)設(shè)計(jì)，無嵌入式電子設(shè)備，可在強(qiáng)磁場(chǎng)和輻射環(huán)境下運(yùn)行低電磁輻射，確保不會(huì)干擾工藝過程泵控制軟件使靈活性、速度和簡(jiǎn)便性達(dá)到化，可在泵的操作條件下始終保持氣體流量和壓縮比
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性能指標(biāo)H2 壓縮比3 x 106冷卻方法Air coolingWater cooling前級(jí)管道法蘭尺寸KF 25 NW前級(jí)耐壓 — N210 mbar啟動(dòng)時(shí)間< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建議采用的前級(jí)泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s氣體通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm氣體通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm極限真空<1 x 10–10 mbar標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證61326-1
61010-1
DIR 2006/42/CE
DIR 2014/35/EU
DIR 2014/30/EU
DIR 2011/65/EU法蘭類型DN 100貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運(yùn)行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量22.6 kg額定轉(zhuǎn)速從 40.8 至 49.5 KRPM
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使用經(jīng)過加速的離子束照射被測(cè)的表面，通過分析反射的粒子或光譜來測(cè)定被照射表面的具體成分。離子束分析技術(shù)可以對(duì)物體表面和近表面的元素進(jìn)行分析，具有快速直接、無需樣品處理、無損、元素覆蓋范圍廣等特點(diǎn)。
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測(cè)試條件和裝置
被測(cè)分子泵的型號(hào)為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。
被測(cè)分子泵由一臺(tái)渦旋干泵作為前級(jí)，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對(duì)流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量?jī)H可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計(jì)測(cè)量被測(cè)試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測(cè)量定子的溫度。
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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷，正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng)，對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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擴(kuò)散泵工作時(shí)，從噴塔高速噴射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并從油池邊緣向中心流動(dòng)，在流動(dòng)的過程中，油的溫度逐漸升高，油中沸點(diǎn)比較低的小分子組分，在靠近油池邊緣的地方就會(huì)汽化，而沸點(diǎn)比較高的大分子組分，則會(huì)在靠近油池中心的地方汽化。一般的擴(kuò)散泵噴塔各級(jí)噴嘴之間是互相聯(lián)通的，而安捷倫擴(kuò)散泵的噴塔各級(jí)噴嘴彼此獨(dú)立，特別是噴塔，只有沸點(diǎn)高的大分子油蒸汽才會(huì)從這里噴出，這一特點(diǎn)不僅擴(kuò)散泵極限真空很好，而且由于高沸點(diǎn)的泵油更不容易二次揮發(fā)，使得泵的返油率很低。
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